一种具有内嵌沟道二极管的双沟槽SiC MOSFET结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN111048590B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN201911361615.6

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本发明提供一种具有内嵌沟道二极管的双沟槽SiC MOSFET结构及其制备方法,结构包括:N‑漂移层;衬底层;漏极金属;JFET区;P‑base区;N+源区;P‑region区;P‑plus区;MOSFET栅氧;沟道二极管栅氧,厚度要小于MOSFET栅氧;MOSFET多晶硅栅;沟道二极管多晶硅栅;隔离氧;源极金属。一方面,在电路中充当续流二极管的作用时,完全消除传统SiC MOSFET结构因少数载流子复合发生的双极退化效应,并且具备更低的开启电压,减小了功率损耗;另一方面,器件的输入电容、转移电容及栅电荷特性得到了极大改善。此外,相比传统器件的制造方法,只增加了一步刻蚀栅氧工艺,控制了制作成本。

    一种具有内嵌沟道二极管的双沟槽SiCMOSFET结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN111048590A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911361615.6

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本发明提供一种具有内嵌沟道二极管的双沟槽SiC MOSFET结构及其制备方法,结构包括:N-漂移层;衬底层;漏极金属;JFET区;P-base区;N+源区;P-region区;P-plus区;MOSFET栅氧;沟道二极管栅氧,厚度要小于MOSFET栅氧;MOSFET多晶硅栅;沟道二极管多晶硅栅;隔离氧;源极金属。一方面,在电路中充当续流二极管的作用时,完全消除传统SiC MOSFET结构因少数载流子复合发生的双极退化效应,并且具备更低的开启电压,减小了功率损耗;另一方面,器件的输入电容、转移电容及栅电荷特性得到了极大改善。此外,相比传统器件的制造方法,只增加了一步刻蚀栅氧工艺,控制了制作成本。

    基于Pure Pursuit算法的预瞄点确定方法

    公开(公告)号:CN104960520B

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201510420221.9

    申请日:2015-07-16

    Inventor: 段建民 杨晨 夏天

    Abstract: 基于Pure Pursuit算法的预瞄点确定方法,首先将GPS提供的空间大地坐标信息转换为UTM直角坐标信息,并将该信息传送给决策上位机;然后根据车辆当前行驶车速确定预瞄距离;以GPS提供的车辆当前位置为圆心,预瞄距离为半径画圆,根据该圆与期望路径的位置关系,确定预瞄点;利用Pure Pursuit算法,计算出智能车转角控制量,从而实现车辆对规划路径的跟踪。本发明针对无人驾驶智能车在规定路径上的跟踪实验,通过判断规划路径与预瞄圆的位置关系,确定预瞄点,筛选算法新颖,且计算量小、运算效率高、易于计算机编程实现,提高了算法的准确性和可靠性。

    基于PurePursuit算法的预瞄点确定方法

    公开(公告)号:CN104960520A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510420221.9

    申请日:2015-07-16

    Inventor: 段建民 杨晨 夏天

    Abstract: 基于Pure Pursuit算法的预瞄点确定方法,首先将GPS提供的空间大地坐标信息转换为UTM直角坐标信息,并将该信息传送给决策上位机;然后根据车辆当前行驶车速确定预瞄距离;以GPS提供的车辆当前位置为圆心,预瞄距离为半径画圆,根据该圆与期望路径的位置关系,确定预瞄点;利用Pure Pursuit算法,计算出智能车转角控制量,从而实现车辆对规划路径的跟踪。本发明针对无人驾驶智能车在规定路径上的跟踪实验,通过判断规划路径与预瞄圆的位置关系,确定预瞄点,筛选算法新颖,且计算量小、运算效率高、易于计算机编程实现,提高了算法的准确性和可靠性。

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