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公开(公告)号：CN118321731A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410515812.3
申请日：2024-04-26
Applicant: 北京工业大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明涉及一种超快激光直写光波导的加工方法，该方法是利用超快激光直写技术，通过调节激光偏振和激光加工参数，控制激光能量在加工区域的沉积分布，实现了在薄膜铌酸锂上制备可控尺寸、高表面质量的微米级光波导的方法。本发明方法充分发挥了激光的可控性和快速加工能力，制备过程中无需掩膜加工、化学溶液刻蚀，能够在薄膜铌酸锂上快速制备具有不同尺寸、高折射率对比度及高表面质量的特点的光波导，避免了加工区域的粗糙表面。本发明为实现高效率制备大规模薄膜铌酸锂光波导提供了有效的技术路线。
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