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发明公开
一种钙钛矿红外光电晶体管及其制备方法无效

公开(公告)号：CN110379924A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201910501006.X

申请日：2019-06-11

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 周航 , 闫立志

IPC: H01L51/42 , H01L51/46 , H01L51/48

Abstract: 本发明实施例提供一种钙钛矿红外光电晶体管及其制备方法，包括：基础衬底；源漏金属电极沉积于基础衬底上表面；金属氧化物半导体薄膜和源漏金属电极在同一平面上；电荷传输界面层将图形化的有机无机杂化红外探测钙钛矿材料层与源漏金属电极、金属氧化物半导体薄膜分隔开；图形化的有机无机杂化红外探测钙钛矿材料层完全覆盖于电荷传输界面层上、位于金属氧化物半导体薄膜正上方，并且投影面积等于金属氧化物半导体薄膜；钝化层将所述电荷传输界面层、图形化的有机无机杂化红外探测钙钛矿材料层全部覆盖，投影面积等于基础衬底；疏水层薄膜覆盖除金属氧化物半导体薄膜外的所有钙钛矿红外光晶体导管器件部分。

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