公开(公告)号：CN106370958A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610934313.3

申请日：2016-10-25

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 刘念 ,  缪旻 ,  金玉丰

IPC: G01R31/00 ,  G01N21/88 ,  G01N29/06

CPC classification number: G01R31/003 ,  G01N21/88 ,  G01N29/0681 ,  G01N2291/0232 ,  G01N2291/02881 ,  G01N2291/0289

Abstract: 本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置，该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测；对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试，并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试，检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性，得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。

公开(公告)号：CN106370958B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201610934313.3

申请日：2016-10-25

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 刘念 ,  缪旻 ,  金玉丰

IPC: G01R31/00 ,  G01N21/88 ,  G01N29/06

Abstract: 本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置，该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测；对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试，并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试，检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性，得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。

公开(公告)号：CN106405152A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610913433.5

申请日：2016-10-19

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 覃明杰 ,  缪旻 ,  金玉丰

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125

Abstract: 本申请公开了一种微加速度计，其包括上盖板、质量块、下盖板、悬臂梁、围框。上盖板与下盖板相对设置形成一空间；围框的一端连接于上盖板的下表面，另一端连接于下盖板的上表面；质量块通过悬臂梁与围框相连，以设置于上盖板与下盖板形成的空间内；悬臂梁为弯曲形状，用于支撑质量块在上盖板与下盖板形成的空间内上下移动。本申请还公开了制备上述微加速度计的方法，包括流延、打孔与通孔填充、对准、层压、共烧、装配和检测步骤。本发明的LTCC差分电容式微加速度计，其悬臂梁采用弯曲形状，例如U形结构，制备简单，微加速度计测量结果漂移低，温度效应很小，灵敏度相对较高，检测模态刚度小，交叉耦合小，综合性能好。