公开(公告)号：CN109990814A

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201910257904.5

申请日：2019-04-01

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 金玉丰 ,  邱奕翔 ,  王莉

IPC: G01D5/48

Abstract: 一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器，其主要包括基座和压电晶片，其中压电晶片通过一个或多个连接件悬空设置在所述基座上，所述压电晶片用于产生或接收超声波。一方面，由于压电晶片和基座之间采用连接件进行连接，使得压电晶片处于悬空状态，利于减小基座对压电晶片的拉应力束缚，从而减少残余应力的影响；另一方面，由于压电晶片的悬浮结构设计，使得传感器自身能够实现更好的谐振运动，对于边缘的束缚应力更小，压电晶片或压电薄膜的振动位移更大，利于产生高声压的超声波，实现更为准确的识别和探测。

公开(公告)号：CN109990814B

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN201910257904.5

申请日：2019-04-01

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 金玉丰 ,  邱奕翔 ,  王莉

IPC: G01D5/48

Abstract: 一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器，其主要包括基座和压电晶片，其中压电晶片通过一个或多个连接件悬空设置在所述基座上，所述压电晶片用于产生或接收超声波。一方面，由于压电晶片和基座之间采用连接件进行连接，使得压电晶片处于悬空状态，利于减小基座对压电晶片的拉应力束缚，从而减少残余应力的影响；另一方面，由于压电晶片的悬浮结构设计，使得传感器自身能够实现更好的谐振运动，对于边缘的束缚应力更小，压电晶片或压电薄膜的振动位移更大，利于产生高声压的超声波，实现更为准确的识别和探测。