公开(公告)号：CN102522366A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110381993.8

申请日：2011-11-25

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 金鹏 ,  李磊

IPC: H01L21/768

Abstract: 本发明涉及一种晶圆级倒装芯片重新布线的机械压印制作方法。利用纳米金属颗粒溶液通过模具压印的方法进行倒装芯片的重新布线，将金属纳米颗粒有机溶液涂覆在硅圆片上，然后利用制备好的模具与晶圆片精确对齐，在一定的条件下，给模具以压力使得溶液在模具空腔内完全填充，蒸发溶液再冷却脱模，加温使分散的金属纳米颗粒熔融固化成连续的金属布线。本方法利用纳米金属颗粒溶液的粘度小，通过模具压印实现其流动，并且在低温低压下就可以熔化凝结成连续的块金属线。通过机械的方式在晶圆上实现重新布线，具有工艺简单，原材料利用率高，可靠性高，线条的宽度和间距可以灵活控制等优点。

公开(公告)号：CN102522366B

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201110381993.8

申请日：2011-11-25

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 金鹏 ,  李磊

IPC: H01L21/768

Abstract: 本发明涉及一种晶圆级倒装芯片重新布线的机械压印制作方法。利用纳米金属颗粒溶液通过模具压印的方法进行倒装芯片的重新布线，将金属纳米颗粒有机溶液涂覆在硅圆片上，然后利用制备好的模具与晶圆片精确对齐，在一定的条件下，给模具以压力使得溶液在模具空腔内完全填充，蒸发溶液再冷却脱模，加温使分散的金属纳米颗粒熔融固化成连续的金属布线。本方法利用纳米金属颗粒溶液的粘度小，通过模具压印实现其流动，并且在低温低压下就可以熔化凝结成连续的块金属线。通过机械的方式在晶圆上实现重新布线，具有工艺简单，原材料利用率高，可靠性高，线条的宽度和间距可以灵活控制等优点。