一种基于聚对二甲苯的三维针尖电极阵列的制作方法

    公开(公告)号:CN101398614B

    公开(公告)日:2011-03-16

    申请号:CN200810119952.X

    申请日:2008-09-12

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 李志宏 黄贤炬

    Abstract: 一种基于聚对二甲苯的三维针尖电极阵列的制作方法,其特征是,利用硅三维针尖阵列制备出基于聚对二甲苯柔性衬底的三维针尖电极阵列,该电极阵列是一种类似于三明治结构的聚对二甲苯-金属层-聚对二甲苯三层结构,可用于针对人工视网膜修复的视网膜下植入手术。根据本发明制作的三维针尖电极阵列能有效提高芯片电极阵列的密度,降低芯片的功耗和面积,增强视网膜芯片的修复效果,更好地适应了视网膜下植入手术的要求。

    一种基于Parylene的三维针尖电极阵列的制作方法

    公开(公告)号:CN101398614A

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200810119952.X

    申请日:2008-09-12

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 李志宏 黄贤炬

    Abstract: 一种基于Parylene的三维针尖电极阵列的制作方法,其特征是,利用硅三维针尖阵列制备出基于Parylene柔性衬底的三维针尖电极阵列,该电极阵列是一种类似于三明治结构的Parylene-金属层-Parylene三层结构,可用于针对人工视网膜修复的视网膜下植入手术。根据本发明制作的三维针尖电极阵列能有效提高芯片电极阵列的密度,降低芯片的功耗和面积,增强视网膜芯片的修复效果,更好地适应了视网膜下植入手术的要求。

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