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公开(公告)号：CN102402019A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110418242.9
申请日：2011-12-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于亚波长全刻蚀光栅的偏振分束器，由上至下依次包括上包层、光栅层、波导层和下包层；其中，所述光栅层被完全刻透、与波导层位于同一层；所述波导层的折射率大于所述上包层和下包层的折射率。本发明通过采用亚波长全刻蚀光栅结构，并使其中的波导层的折射率大于所述上包层和下包层的折射率，能够兼耦合与分束功能于一体，并具有结构简单、尺寸小、与CMOS工艺兼容性好、制作成本低且快速等优点，能够很好的应用光电集成电路系统当中。
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