公开(公告)号：CN109916841B

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910197270.9

申请日：2019-03-15

Applicant: 北京大学

Inventor： 郑伟 ,  吴成印 ,  邓勇开 ,  钟循启

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种高次谐波真空紫外光源与超高真空仪器的互联装置及方法。本发明在分光室中光栅单元采用非平面安装，在超紫外线XUV波段具有非常高的衍射效率，能够减少XUV脉冲的展宽；采用具有通孔的高次谐波闪烁体，能够直观地选择不同阶次的高次谐波；滤光器方便使用者在大气条件下去利用驱动光准直光路；高次谐波强度测量仪安装在一维位移杆上，便于测量高次谐波的强度，有利于分析高次谐波的强度对样品的影响；通过三维控制台控制第三高次谐波反射镜的扫描聚焦，方便信号的寻找和优化。

公开(公告)号：CN109916841A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201910197270.9

申请日：2019-03-15

Applicant: 北京大学

Inventor： 郑伟 ,  吴成印 ,  邓勇开 ,  钟循启

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种高次谐波真空紫外光源与超高真空仪器的互联装置及方法。本发明在分光室中光栅单元采用非平面安装，在超紫外线XUV波段具有非常高的衍射效率，能够减少XUV脉冲的展宽；采用具有通孔的高次谐波闪烁体，能够直观地选择不同阶次的高次谐波；滤光器方便使用者在大气条件下去利用驱动光准直光路；高次谐波强度测量仪安装在一维位移杆上，便于测量高次谐波的强度，有利于分析高次谐波的强度对样品的影响；通过三维控制台控制第三高次谐波反射镜的扫描聚焦，方便信号的寻找和优化。