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公开(公告)号：CN110095703A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910294891.9
申请日：2019-04-12
Applicant: 北京大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种自热效应测试结构，该结构包括：第一待测器件(1)、第二待测器件(2)、传感器(3)；所述第一待测器件(1)和第二待测器件(2)相对于传感器(3)呈镜像布置。本发明的优点在于：(1)支持多类器件的自热效应检测，不受器件制造工艺和器件种类的制约，适用范围广，实用性强，检测效率高。(2)相较于前述其他技术，该结构测试结果更为准确可信。(3)本结构极大地减少了自热器件和传感器件之间的热扩散，使得传感器件具备的温度条件更加接近于自加热器件。结构利用栅极隧穿电流对温度的敏感性，更快速和准确地获得被测器件的信息，降低了信息采集的时间和成本。
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公开(公告)号：CN110346702A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910508070.0
申请日：2019-06-12
Applicant: 北京大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种自热效应测试结构，该结构包括：第一待测器件(1)、第二待测器件(2)、第三待测器件(3)、第一传感器(4)、第二传感器(5)；所述第一待测器件(1)和所述第二待测器件(2)相对于第一传感器(4)呈镜像布置，所述第二待测器件(2)和所述第三待测器件(3)相对于第二传感器(5)呈镜像布置。本发明的优点在于：本结构极大地减少了自热器件和传感器件之间的热扩散，使得传感器件具备的温度条件更加接近于自加热器件。可同时测量自热器件源端和漏端的自热状况，能够较直接地反映出源漏温度差异。结构利用栅极隧穿电流对温度的敏感性，更快速和准确地获得被测器件的信息，降低了信息采集的时间和成本。
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公开(公告)号：CN110346702B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910508070.0
申请日：2019-06-12
Applicant: 北京大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种自热效应测试结构，该结构包括：第一待测器件(1)、第二待测器件(2)、第三待测器件(3)、第一传感器(4)、第二传感器(5)；所述第一待测器件(1)和所述第二待测器件(2)相对于第一传感器(4)呈镜像布置，所述第二待测器件(2)和所述第三待测器件(3)相对于第二传感器(5)呈镜像布置。本发明的优点在于：本结构极大地减少了自热器件和传感器件之间的热扩散，使得传感器件具备的温度条件更加接近于自加热器件。可同时测量自热器件源端和漏端的自热状况，能够较直接地反映出源漏温度差异。结构利用栅极隧穿电流对温度的敏感性，更快速和准确地获得被测器件的信息，降低了信息采集的时间和成本。
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公开(公告)号：CN110095703B
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201910294891.9
申请日：2019-04-12
Applicant: 北京大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种自热效应测试结构，该结构包括：第一待测器件(1)、第二待测器件(2)、传感器(3)；所述第一待测器件(1)和第二待测器件(2)相对于传感器(3)呈镜像布置。本发明的优点在于：(1)支持多类器件的自热效应检测，不受器件制造工艺和器件种类的制约，适用范围广，实用性强，检测效率高。(2)相较于前述其他技术，该结构测试结果更为准确可信。(3)本结构极大地减少了自热器件和传感器件之间的热扩散，使得传感器件具备的温度条件更加接近于自加热器件。结构利用栅极隧穿电流对温度的敏感性，更快速和准确地获得被测器件的信息，降低了信息采集的时间和成本。
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