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公开(公告)号：CN112034203A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010702434.1
申请日：2020-07-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种高精度隧道式加速度计及其制备方法。本发明的隧道式加速度计，包括玻璃衬底、硅片和石墨烯，其中硅片上有反馈电极、质量块和隧道结，反馈电极位于质量块左侧，质量块与弹簧固定连接，隧道结位于质量块右侧。其制备方法包含的步骤为：在硅片背面刻蚀限位槽，使质量块处于自由移动的状态；阳极键合玻璃衬底与硅片；溅射金属，在硅片正面标记位置制备反馈电极和隧道电流发射电极；深刻蚀，生成弹簧和质量块；制备隧道结，在隧道电流发射电极上集成石墨烯，通过电致燃烧法形成隧道结。本发明的隧道式加速度计，采用石墨烯电致燃烧法制备隧道结，既避免了传统工艺的限制，又确保了隧道间距的可控性，从而提高了加速度计的测试精度。
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公开(公告)号：CN112034203B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010702434.1
申请日：2020-07-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种高精度隧道式加速度计及其制备方法。本发明的隧道式加速度计，包括玻璃衬底、硅片和石墨烯，其中硅片上有反馈电极、质量块和隧道结，反馈电极位于质量块左侧，质量块与弹簧固定连接，隧道结位于质量块右侧。其制备方法包含的步骤为：在硅片背面刻蚀限位槽，使质量块处于自由移动的状态；阳极键合玻璃衬底与硅片；溅射金属，在硅片正面标记位置制备反馈电极和隧道电流发射电极；深刻蚀，生成弹簧和质量块；制备隧道结，在隧道电流发射电极上集成石墨烯，通过电致燃烧法形成隧道结。本发明的隧道式加速度计，采用石墨烯电致燃烧法制备隧道结，既避免了传统工艺的限制，又确保了隧道间距的可控性，从而提高了加速度计的测试精度。
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公开(公告)号：CN118641596A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410896671.4
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京大学 , 天津新智感知科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低功耗长寿命的MEMS气体传感器，包括硅基底、支撑层、加热电极、隔离层、检测电极和气敏膜。支撑层采用悬膜结构，降低功耗的同时提高气敏膜敏感区域的温度一致性，提高了器件的响应速度和灵敏度，同时支撑层采用几字形弹簧梁结构有利于释放工作过程中的热应力，减少气敏膜的脱落提高使用寿命，气敏膜采用溅射的方式加工，保证了产品的一致性，产品性能稳定易于加工。
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