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公开(公告)号：CN118366425A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410358981.0
申请日：2024-03-27
Applicant: 北京大学
IPC: G10K11/34
Abstract: 本发明公开了一种基于反谐振反射的微纳尺度声学波导及其制造方法，属于微纳尺度声学波导技术领域，旨在实现对声学模式的灵活控制和优化声学特性。本微纳尺度声学波导包括中心波导和作为反谐振反射层的蚀刻槽，通过调整刻蚀槽的厚度，实现了在反共振和共振状态之间切换，具有在优化声学特性方面的有效性、结构的稳定性和均匀性。本制造方法采用了负载载效应蚀刻技术，通过一次曝光和蚀刻步骤制造整个结构，避免了传统套刻工艺的复杂性，同时提高了制造精度。
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