公开(公告)号：CN1334597A

公开(公告)日：2002-02-06

申请号：CN01130755.2

申请日：2001-08-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 吉利久 ,  张立昂 ,  崔鹏 ,  蒋敏 ,  杨兵 ,  窦训金

IPC: H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法,提取过程为:(1)器件选择,即选择一组大尺寸器件和一组小尺寸器件,小尺寸器件选择不同长度L和不同宽度W的器件组合,大尺寸器件选择不同宽度W和相同长度L的器件,0.35μm≤L≤20μm,0.35μm≤W≤20μm,小尺寸器件的最少个数为四,大尺寸器件的最少个数为三;(2)得到观测值:测量在不同体偏压Vbs(－3V－0V)和漏偏压Vds(0V－3V)下阈值电压Vth的值,得到一组Vth的观测值;(3)计算得到参数。本发明实现了参数的整体提取,不需要人工干预,准确度高。

公开(公告)号：CN1162794C

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：CN01130755.2

申请日：2001-08-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 吉利久 ,  张立昂 ,  崔鹏 ,  蒋敏 ,  杨兵 ,  窦训金

IPC: G06F17/50 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法，提取过程为：(1)器件选择，即选择一组大尺寸器件和一组小尺寸器件，小尺寸器件选择不同长度L和不同宽度W的器件组合，大尺寸器件选择不同宽度W和相同长度L的器件，0.35μm≤L≤20μm，0.35μm≤W≤20μm，小尺寸器件的最少个数为四，大尺寸器件的最少个数为三；(2)得到观测值：测量在不同体偏压Vbs(-3V-0V)和漏偏压Vds(0V-3V)下阈值电压Vth的值，得到一组Vth的观测值；(3)计算得到参数。本发明实现了参数的整体提取，不需要人工干预，准确度高。