公开(公告)号：CN101298315A

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：CN200810056421.0

申请日：2008-01-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 范鹏宇 ,  陈曦 ,  郭奥 ,  傅云义 ,  黄如 ,  张兴

IPC: B81C5/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，该方法包括：制备一对或一对以上电极，电极的阴极和阳极交错分布；将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在上述电极之上；在电极上施加交流电或直流电后，碳纳米管垂直于上述电极边沿平行排布；待有机溶液蒸发后，将上述电极边沿的碳纳米管切断，形成由碳纳米管组成的悬壁梁阵列。本发明利用碳纳米管自组装技术可以克服光刻技的限制，可获得大规模的悬壁梁阵列而且可控；同时，由于直接利用碳纳米管，可利用其优异的物理特性，将声、电、光、磁等引入悬壁梁体系以实现新颖的纳米机电器件。

公开(公告)号：CN101298315B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200810056421.0

申请日：2008-01-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 范鹏宇 ,  陈曦 ,  郭奥 ,  傅云义 ,  黄如 ,  张兴

IPC: B81C5/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，该方法包括：制备一对或一对以上电极，电极的阴极和阳极交错分布；将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在上述电极之上；在电极上施加交流电或直流电后，碳纳米管垂直于上述电极边沿平行排布；待有机溶液蒸发后，将上述电极边沿的碳纳米管切断，形成由碳纳米管组成的悬壁梁阵列。本发明利用碳纳米管自组装技术可以克服光刻技的限制，可获得大规模的悬壁梁阵列而且可控；同时，由于直接利用碳纳米管，可利用其优异的物理特性，将声、电、光、磁等引入悬壁梁体系以实现新颖的纳米机电器件。