公开(公告)号：CN104792420A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410032762.X

申请日：2014-01-22

Applicant: 北京大学

Inventor： 于晓梅 ,  文永正 ,  马蔚 ,  王舒阳

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/20 ,  H04N5/33 ,  B32B33/00

CPC classification number: B81B3/0081 ,  B81B2201/0207 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/40

Abstract: 本发明提供了一种在透明衬底上设计和制备太赫兹与全波段红外焦平面阵列的方法。本发明提供的太赫兹与全波段红外焦平面阵列利用双材料微悬臂梁作为焦平面阵列的像元，采用表面牺牲层工艺制备，光学技术读出焦平面阵列的响应信号。每个双材料微悬臂梁由吸收体、形变支腿、热隔离支腿、反射镜面和锚点组成，双材料微悬臂梁通过锚点固支在衬底上。在进行探测成像时，太赫兹与全波段红外电磁波聚焦到双材料微悬臂梁上，吸收体将吸收的电磁波能量转换成热能，形变支腿使微双材料微悬臂梁发生偏转，光学检测系统通过透明衬底读出双材料微悬臂梁阵列的形变量和分布，最终通过数据图像处理模块以光强图像的方式将被测物体的太赫兹与全波段红外图像显示出来。本发明提供的焦平面阵列可以实现多波段工作，并具有灵敏度和分辨率高，可靠性和均匀性好，以及低成本和制备工艺简单等突出优点。

公开(公告)号：CN104458011A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310416650.X

申请日：2013-09-13

Applicant: 北京大学

Inventor： 于晓梅 ,  王舒阳 ,  马蔚 ,  文永正 ,  李淑玉

IPC: G01J5/38 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列的设计和制备方法，特别是关于一种从衬底侧进行可见光读出的全波段红外焦平面阵列。本发明提供的全波段红外焦平面阵列由微悬臂梁像元阵列和支撑微悬臂梁像元阵列的透明衬底组成，微悬臂梁像元由红外敏感面和微悬臂梁支腿组成，红外敏感面包括主结构层、红外吸收结构层和光学反射镜面。当红外光辐射到焦平面阵列时，设计在红外敏感面上的红外吸收结构将吸收的能量转换成热能，使微悬臂梁像元发生偏转，光学检测系统通过透明衬底读出微悬臂梁像元阵列的形变量和分布。本发明提供的红外焦平面阵列通过在红外敏感面上设置的超材料结构，可进行全波段红外探测和成像，工作在非制冷环境下，可采用简单的聚酰亚胺牺牲层工艺制造。