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公开(公告)号：CN101692152A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910235550.0
申请日：2009-10-19
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物激光烧蚀的三维光刻方法，其包括如下步骤：S1，在三维结构的衬底上制备聚合物；S2，采用激光对所述聚合物进行烧蚀。本发明的技术方案实现了在复杂的三维结构的衬底上完成高性能的光刻，该工艺可以在不同的微加工工艺中应用，尤其适用于需要具有密度、高深宽比的复杂三维结构的人体功能修复器件的制备中应用。
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