公开(公告)号：CN1352469A

公开(公告)日：2002-06-05

申请号：CN01140224.5

申请日：2001-12-06

Applicant: 北京大学

Inventor： 谢飞翔 ,  杨涛 ,  马平 ,  聂瑞娟 ,  刘乐园 ,  王福仁 ,  王守证 ,  王世光 ,  戴远东

IPC: H01L39/00 ,  H03H9/00 ,  H03H1/00

Abstract: 本发明公开了一种超导薄膜谐振器,属于射频超导量子干涉仪(rf SQUID)制造和应用领域。本发明的超导薄膜谐振器,由镀在单晶衬底上的非闭合的超导薄膜外环构成:外环开口处的两端是梳齿式结构,两端的梳齿相互交叉,利用梳齿间的耦合电场构成电容;外环的其余部分构成电感。外环内部有超导薄膜,用作磁通聚焦器。本发明采用的梳齿式结构,可以通过增减梳齿数目和长度来调节谐振频率。本发明应用在超导量子干涉仪制造和应用领域中,可以简化SQUID探头制造工艺流程,提高SQUID探头参数的一致性,提高成品率。在应用中由于能保持较高的谐振频率和磁聚焦效率,所以SQUID系统可以获得高的磁通灵敏度和磁场灵敏度。