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公开(公告)号:CN119290954A
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202411221723.4
申请日:2024-09-02
Applicant: 北京大学
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明公开了一种热学测量装置,包括:基底、第一支撑梁、第二支撑梁、加热组件和量热组件。基底设有上端开口的腔体,第一支撑梁和第二支撑梁均设于所述基底的所述开口处,所述第一支撑梁和所述第二支撑梁均相对所述腔体的底壁悬空设置,所述第一支撑梁和所述第二支撑梁在第一水平方向上间隔设置,所述第一支撑梁和所述第二支撑梁的热导率相同;加热组件适于与待测样品热连接并设于第一支撑梁,所述加热组件配置为通电产生热量,所述加热组件还配置为受热时电阻值变化;量热组件适于与待测样品热连接并设于第二支撑梁,所述量热组件配置为受热时电阻值变化。本发明的热学测量装置,能够提高宏观尺度下待测样品的热学测量的精确性。
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公开(公告)号:CN119349495A
公开(公告)日:2025-01-24
申请号:CN202411229290.7
申请日:2024-09-03
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种悬空微纳装置及悬空微纳装置的形成方法,其中,悬空微纳装置包括基底和支撑梁。所述基底设有上端开口的腔体。所述支撑梁设于所述腔体的开口处,所述支撑梁相对所述腔体的底端悬空设置,所述支撑梁具有在所述支撑梁周向方向依次设置的第一端部、第二端部和第三端部,所述第二端部在第一水平方向上位于所述第一端部和所述第三端部之间,所述第一端部和所述第三端部在上下方向上位于所述第二端部的同一侧,其中,所述基底和所述支撑梁均为单晶硅。本发明的悬空微纳装置,能够提高支撑梁的强度。
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