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公开(公告)号：CN102830068A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210274398.9
申请日：2012-08-03
Applicant: 北京大学
Inventor： 张晓勇 , 毛启楠 , 王东 , 于平荣
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种多层膜系统光能分布测量方法，采用光谱椭偏仪和台阶仪分别测量基底及各层膜的折射率、消光系数以及各层膜的厚度，然后构建虚拟的多层膜系统，分别通过等效界面方法计算各个界面上、下的光能分布情况，从而通过比较各个界面和各层膜上、下的光能分布情况，就能得到各界面和各层膜对光能分布的影响。本发明测量方法简单方便，测量结果稳定可靠，适用范围广泛。
