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公开(公告)号：CN119649870A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411729902.9
申请日：2024-11-28
Applicant: 北京大学
IPC: G11C11/22
Abstract: 本申请公开了一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品，涉及半导体器件及集成电路技术领域，该方法包括：确定混合式恢复脉冲序列；获取目标铪基铁电存储器的初态极化强度；在对目标铪基铁电存储器进行读写操作后，获取目标铪基铁电存储器的实时剩余极化强度为第一剩余极化强度；根据第一剩余极化强度和初态极化强度，确定目标铪基铁电存储器是否处于疲劳状态；在目标铪基铁电存储器处于疲劳状态时，向目标铪基铁电存储器施加编程后的混合式恢复脉冲序列；本申请利用混合式恢复脉冲序列恢复铪基铁电电容疲劳效应方案，能够提高极化强度恢复效果和铪基铁电存储器的耐久性。
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