公开(公告)号：CN108003350A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201610928921.3

申请日：2016-10-31

Applicant: 北京大学

Inventor： 沈志豪 ,  张梦瑶 ,  范星河

IPC: C08G77/388 ,  C08G77/38 ,  C08G77/04 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C08G77/045 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公布了一种含硅有机-无机杂化分子及其合成、组装和应用。所述有机-无机杂化分子是以六苯并蔻(HBC)为核，通过共价键将笼型倍半硅氧烷(POSS)连接在其周围形成的具有较大分子量的HBC-POSS分子。这类分子具有两种纳米尺寸的构筑单元，能够自组装形成尺寸在10nm以下的有序结构，通过氧等离子体刻蚀，可以得到10nm以下的纳米模板，为解决用于半导体工业的纳米模板尺寸的瓶颈提供新的可能。

公开(公告)号：CN108003350B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201610928921.3

申请日：2016-10-31

Applicant: 北京大学

Inventor： 沈志豪 ,  张梦瑶 ,  范星河

IPC: C08G77/388 ,  C08G77/38 ,  C08G77/04 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公布了一种含硅有机‑无机杂化分子及其合成、组装和应用。所述有机‑无机杂化分子是以六苯并蔻(HBC)为核，通过共价键将笼型倍半硅氧烷(POSS)连接在其周围形成的具有较大分子量的HBC‑POSS分子。这类分子具有两种纳米尺寸的构筑单元，能够自组装形成尺寸在10nm以下的有序结构，通过氧等离子体刻蚀，可以得到10nm以下的纳米模板，为解决用于半导体工业的纳米模板尺寸的瓶颈提供新的可能。