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公开(公告)号:CN101853862A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010163107.X
申请日:2010-04-29
Applicant: 北京大学
IPC: H01L27/144 , H01L31/08 , H01L21/77 , H01L31/18 , A61F9/08
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于人工视网膜的光电式微电极阵列,其包括透明衬底(1)、由下至上依次生长于所述透明衬底(1)上的第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)、第二重掺杂非晶硅层(2)和金属电极(4),以及覆盖于所述透明衬底(1)、第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)以及第二重掺杂非晶硅层(2)表面的绝缘介质材料(5)。本发明结构和工艺相对简单,同时功能完备,可提供足够驱动电流的微阵列,具有重要的实用价值和产业化前景。
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公开(公告)号:CN101717062A
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200910237300.0
申请日:2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及用于生物MEMS领域的悬空聚对二甲苯薄膜结构及其制备工艺。本发明的悬空聚对二甲苯薄膜结构是在有孔衬底上化学气相沉积聚对二甲苯形成聚合物悬空薄膜,因此其薄膜厚度可以精确控制,并且,由于沉积聚对二甲苯时的要求很低,不需要牺牲层填充物,对制备有孔衬底的材料并无具体的限制,孔径尺寸和深宽比亦无特殊要求,故可以根据实际需要和成本考量选取适当材料,使得工艺的应用范围大大扩展。
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公开(公告)号:CN101717062B
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200910237300.0
申请日:2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及用于生物MEMS领域的悬空聚对二甲苯薄膜结构及其制备工艺。本发明的悬空聚对二甲苯薄膜结构是在有孔衬底上化学气相沉积聚对二甲苯形成聚合物悬空薄膜,因此其薄膜厚度可以精确控制,并且,由于沉积聚对二甲苯时的要求很低,不需要牺牲层填充物,对制备有孔衬底的材料并无具体的限制,孔径尺寸和深宽比亦无特殊要求,故可以根据实际需要和成本考量选取适当材料,使得工艺的应用范围大大扩展。
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公开(公告)号:CN102127506B
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201010583804.0
申请日:2010-12-07
Applicant: 北京大学
IPC: C12M3/00
Abstract: 本发明公开了一种用于细胞牵拉刺激的高通量培养装置,包括:第一有机玻璃板和第二有机玻璃板,第一有机玻璃板和第二有机玻璃板上具有通孔,在第一有机玻璃板与第二有机玻璃板之间设置有硅胶膜,第二有机玻璃板的下部设置有第三有机玻璃板,第二有机玻璃板与第三有机玻璃板之间设置有第一有机玻璃框,第二有机玻璃板、第三有机玻璃板和第一有机玻璃框形成有机玻璃空腔,有机玻璃空腔的两侧分别通过通道与压力控制单元连接,第一有机玻璃框的两侧设置有细孔连通有机玻璃空腔内部和通道。该装置可以精细调节薄膜拉伸量,还可以实现周期性牵拉,在将装置倒置并配备透明托盘后还能实现牵拉过程中的显微观察。
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公开(公告)号:CN102127506A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN201010583804.0
申请日:2010-12-07
Applicant: 北京大学
Inventor: 张新义
IPC: C12M3/00
Abstract: 本发明公开了一种用于细胞牵拉刺激的高通量培养装置,包括:第一有机玻璃板和第二有机玻璃板,第一有机玻璃板和第二有机玻璃板上具有通孔,在第一有机玻璃板与第二有机玻璃板之间设置有硅胶膜,第二有机玻璃板的下部设置有第三有机玻璃板,第二有机玻璃板与第三有机玻璃板之间设置有第一有机玻璃框,第二有机玻璃板、第三有机玻璃板和第一有机玻璃框形成有机玻璃空腔,有机玻璃空腔的两侧分别通过通道与压力控制单元连接,第一有机玻璃框的两侧设置有细孔连通有机玻璃空腔内部和通道。该装置可以精细调节薄膜拉伸量,还可以实现周期性牵拉,在将装置倒置并配备透明托盘后还能实现牵拉过程中的显微观察。
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