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公开(公告)号:CN109648191A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201910034962.1
申请日:2019-01-15
Applicant: 北京大学
IPC: B23K26/046
Abstract: 本发明公开了一种可实时调控能量的微米级高分辨率超快激光加工系统,包括:光路传输系统、实时观察系统、精准定位系统和激光能量调节系统。本发明所提供的系统,通过可调的指示光源、多角度调节样品固定台和实时观察系统可以达到对焦距的精准快速定位。同时具备独立于原始激光的激光能量调节系统,仅仅针对所需光路进行调节,通用性强。