公开(公告)号：CN111812355B

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN201910283449.6

申请日：2019-04-10

Applicant: 北京大学

Inventor： 赵前程 ,  宋紫阳 ,  崔健 ,  闫桂珍

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种低应力敏感度硅微谐振式加速度计结构，主要包括质量块、杠杆放大结构、双端固支音叉谐振器(DETF)、低应力框架、支撑梁和外框架，且各结构对称分布。加速度计结构分为两层，其中上层制作了加速度计的机械结构，下层的硅衬底在键合后可为上层结构提供支撑，中间连接有金属电极，用于导出电信号。本发明通过布置对称分布于谐振器上下两侧的固定锚点，降低工作温度变化对谐振器所产生的热应力，从而减少了温度漂移对器件性能的影响问题，由此提高了谐振式加速度计的温度稳定性。

公开(公告)号：CN111812355A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201910283449.6

申请日：2019-04-10

Applicant: 北京大学

Inventor： 赵前程 ,  宋紫阳 ,  崔健 ,  闫桂珍

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种低应力敏感度硅微谐振式加速度计结构，主要包括质量块、杠杆放大结构、双端固支音叉谐振器(DETF)、低应力框架、支撑梁和外框架，且各结构对称分布。加速度计结构分为两层，其中上层制作了加速度计的机械结构，下层的硅衬底在键合后可为上层结构提供支撑，中间连接有金属电极，用于导出电信号。本发明通过布置对称分布于谐振器上下两侧的固定锚点，降低工作温度变化对谐振器所产生的热应力，从而减少了温度漂移对器件性能的影响问题，由此提高了谐振式加速度计的温度稳定性。