公开(公告)号：CN102041547B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201010602359.8

申请日：2010-12-14

Applicant: 北京大学

Inventor： 高靖云 ,  孙杨慧 ,  赵清 ,  俞大鹏

IPC: H01L21/205

Abstract: 本发明公开了一种制备磷掺杂氧化锌纳米线的方法，该方法包括如下步骤：1)将磷酸锌粉末放在瓷舟中，镀有金膜的衬底放在磷酸锌粉末的正上方或者两侧当做收集纳米线的衬底；2)将瓷舟推入石英套管中，再将石英管放入管式炉的中央，排出管内的空气，然后将氩气流量设定为100～200sccm作为载气；4)将管式炉升温至950℃-1100℃，升温时间设为20分钟到30分钟，在炉温达到设定温度时，向管式炉中通入2sccm-3sccm的氧气；5)在设定温度保温1-30分钟，然后让管式炉自然降至室温，待炉温降至室温后，关闭管式炉，关闭气流，取出衬底，在衬底上得到磷掺杂的氧化锌纳米线。本发明方法工艺简单易行，成本很低，所制备的磷掺杂纳米线含磷量高，晶体质量好。

公开(公告)号：CN102041547A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010602359.8

申请日：2010-12-14

Applicant: 北京大学

Inventor： 高靖云 ,  孙杨慧 ,  赵清 ,  俞大鹏

IPC: C30B1/10 ,  C30B29/02 ,  C30B29/62

Abstract: 本发明公开了一种制备磷掺杂氧化锌纳米线的方法，该方法包括如下步骤：1)将磷酸锌粉末放在瓷舟中，镀有金膜的衬底放在磷酸锌粉末的正上方或者两侧当做收集纳米线的衬底；2)将瓷舟推入石英套管中，再将石英管放入管式炉的中央，排出管内的空气，然后将氩气流量设定为100～200sccm作为载气；3)将管式炉升温至950℃-1100℃，升温时间设为20分钟到30分钟，在炉温达到设定温度时，向管式炉中通入2sccm-3sccm的氧气；4)在设定温度保温1-30分钟，然后让管式炉自然降至室温，待炉温降至室温后，关闭管式炉，关闭气流，取出衬底，在衬底上得到磷掺杂的氧化锌纳米线。本发明方法工艺简单易行，成本很低，所制备的磷掺杂纳米线含磷量高，晶体质量好。