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公开(公告)号：CN114334589A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111420870.0
申请日：2021-11-26
Applicant: 北京大学
IPC: H01J37/06 , H01J37/065
Abstract: 本发明提供一种微型2.45GHzECR电子源及电子回旋共振电子源系统，该微型2.45GHzECR电子源包括微波传输设备、微波窗、放电室、磁体和等离子体电极，其中微波窗由圆柱形Al2O3陶瓷与圆柱形氮化硼BN薄片沿轴向组合而成，其中Al2O3陶瓷柱靠近微波传输设备，而氮化硼BN片紧连放电室。本发明具有运行寿命长、稳定性高、金属污染低以及气耗低的优点。本发明微型2.45GHzECR电子源应用于中束流离子注入机的电子回旋共振电子源系统，实现了TE11单模传输，在去除较大体积的三螺钉调谐器的情况下实现了微波耦合，大大缩小了微波系统体积。
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