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公开(公告)号:CN101055332A
公开(公告)日:2007-10-17
申请号:CN200610011685.5
申请日:2006-04-14
Applicant: 北京大学
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明提供一种在透明电介质材料内部制备波导光栅的方法,属于精密微光电子学器件制备技术领域和光学信息处理领域。该方法采用钛蓝宝石飞秒激光器等脉冲激光系统,通过相应的透镜将激光束聚焦到透明的电介质材料样品体内,根据波导光栅的根据对于器件性能的要求比如反射波长、反射率、透射率的需要设计波导光栅的结构和尺寸,通过控制激光束焦点在透明的电介质材料样品体内移动的方向、次数和速度,让透明的电介质材料样品被激光焦点照射发生周期性地折射率改变,形成波导光栅。利用本发明只要控制激光脉冲能量、脉宽、聚焦物镜数值孔径、样品移动速度、重复扫描次数等参数,即可实现快速高精度制备波导光栅及其相关器件。