公开(公告)号：CN102023573B

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201010592636.1

申请日：2010-12-10

Applicant: 北京化工大学

Inventor： 曹政才 ,  王民 ,  吴启迪 ,  赵会丹 ,  彭亚珍 ,  靳保

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种半导体生产线投料控制方法，采用模糊Petri网技术进行生产线在线投料控制，包括构建投料模糊Petri网推理模型；构建半导体生产线在线投料机制；模糊Petri网模型参数设置；通过对实际半导体生产系统不确定性事件，明确投料Petri网模型的模糊推理条件库所集；通过明确推理条件下得到的结论，确定投料Petri网推理结论库所集；同时通过提炼积累投料决策规则，汇总推理规则集；建立投料模糊Petri网推理模型；利用投料模糊Petri网推理模型进行周期性决策判定；一旦意外事件发生，则立即启动该模型，根据各结论库所的可信度，判定是否修改并自行修改投料计划；本发明设计过程简单，容易实现，鲁棒性好。使半导体生产线效率提高，预知能力增强，整体性能得到相应改善。

公开(公告)号：CN102023573A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010592636.1

申请日：2010-12-10

Applicant: 北京化工大学

Inventor： 曹政才 ,  王民 ,  吴启迪 ,  赵会丹 ,  彭亚珍 ,  靳保

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种半导体生产线投料控制方法，采用模糊Petri网技术进行生产线在线投料控制，包括构建投料模糊Petri网推理模型；构建半导体生产线在线投料机制；模糊Petri网模型参数设置；通过对实际半导体生产系统不确定性事件，明确投料Petri网模型的模糊推理条件库所集；通过明确推理条件下得到的结论，确定投料Petri网推理结论库所集；同时通过提炼积累投料决策规则，汇总推理规则集；建立投料模糊Petri网推理模型；利用投料模糊Petri网推理模型进行周期性决策判定；一旦意外事件发生，则立即启动该模型，根据各结论库所的可信度，判定是否修改并自行修改投料计划；本发明设计过程简单，容易实现，鲁棒性好。使半导体生产线效率提高，预知能力增强，整体性能得到相应改善。