公开(公告)号：CN116430680A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310312450.3

申请日：2023-03-28

Applicant: 北京信息科技大学 ,  广州市南沙区北科光子感知技术研究院

Inventor： 孙广开 ,  肖朋 ,  祝连庆 ,  何彦霖 ,  周康鹏 ,  祝航威

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/16 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供了一种基于厚胶光刻的图案化纤维阵列的制备方法，包括S1、基底清洗；S2、第一次匀胶，在所述基底上均匀铺设第一层光刻胶；S3、第一次曝光，对所述第一层光刻胶进行曝光形成曝光后的第一层曝光胶；S4、第二次匀胶，在所述第一层曝光胶上均匀铺设第二层光刻胶；S5、第二次曝光，在第二层光刻胶上设置掩膜板，对第二层光刻胶进行光爆，在所述基底上形成间隔排布的第二层光刻胶和曝光后的第二层曝光胶；S6、显影，去除第二层光刻胶形成图案化纤维阵列。本发明工艺成本低、操作步骤简单，可实现各种图案的转移满足了实际问题的多样性需求，比较适合小批量制作与结构性能研究，在微纳制造领域有着广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN118602000A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410568083.8

申请日：2024-05-09

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 肖朋 ,  孙广开 ,  王紫薇 ,  祝连庆

IPC: F16B47/00 ,  B65G47/91

Abstract: 本发明公开了一种真空负压合并毛细力吸附机理的仿清道夫鱼软体吸盘，具体包括以下内容：吸附机理分析；吸盘组成部分分析；吸盘材料特征分析；吸盘结构特征分析和吸盘的制备。本软体吸盘结构新颖、吸附性能优异、吸附机理多元化；制造流程简单，简单易上手，可靠性高，满足多样性需求；成本较低、重复性高，比较适宜小批量生产与结构性能研究。