散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置

    公开(公告)号:CN109357615B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201811133659.9

    申请日:2018-09-27

    Abstract: 本申请实施例公开了一种散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置,其特征在于,包括:散斑干涉光路、剪切散斑干涉光路和光路切换模块;其中,所述光路切换模块,用于进行所述散斑干涉光路和所述剪切散斑干涉光路之间的光路切换。本申请实施例可以通过光路切换模块,在一个测量装置中实现散斑干涉测量光路和剪切散斑干涉测量光路的切换,有效降低了切换不同测量装置导致的操作繁琐问题。

    散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置

    公开(公告)号:CN109357615A

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201811133659.9

    申请日:2018-09-27

    Abstract: 本申请实施例公开了一种散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置,其特征在于,包括:散斑干涉光路、剪切散斑干涉光路和光路切换模块;其中,所述光路切换模块,用于进行所述散斑干涉光路和所述剪切散斑干涉光路之间的光路切换。本申请实施例可以通过光路切换模块,在一个测量装置中实现散斑干涉测量光路和剪切散斑干涉测量光路的切换,有效降低了切换不同测量装置导致的操作繁琐问题。

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