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公开(公告)号：CN111041439B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201911265781.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种具有梯度结构的固体自润滑膜，属于固体润滑膜技术领域，自润滑膜的溅射靶材为混合有Ag和Ta的二硫化钨，自润滑膜包含多层密度不同的功能层。开启磁控溅射镀膜和离子束辅助源，对金属基板表面进行磁控溅射辅助沉积，关闭磁控溅射，开启离子束轰击源，对靶材进行离子束轰击，形成一层功能层；经多次辅助沉积和离子轰击交替后，以磁控辅助沉积结束，形成固体自润滑膜；在交替过程中，离子束辅助源的能量均相同，离子束轰击源的离子束能量均不相同。本发明通过调整负压、溅射电压、溅射电流、离子束源能量等参数控制膜生长，优化薄膜结构，沉积速率高，制备时间短，表面不存在大颗粒，膜层致密，耐磨，摩擦系数低，耐腐蚀、抗潮解。
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公开(公告)号：CN111041439A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911265781.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种具有梯度结构的固体自润滑膜，属于固体润滑膜技术领域，自润滑膜的溅射靶材为混合有Ag和Ta的二硫化钨，自润滑膜包含多层密度不同的功能层。开启磁控溅射镀膜和离子束辅助源，对金属基板表面进行磁控溅射辅助沉积，关闭磁控溅射，开启离子束轰击源，对靶材进行离子束轰击，形成一层功能层；经多次辅助沉积和离子轰击交替后，以磁控辅助沉积结束，形成固体自润滑膜；在交替过程中，离子束辅助源的能量均相同，离子束轰击源的离子束能量均不相同。本发明通过调整负压、溅射电压、溅射电流、离子束源能量等参数控制膜生长，优化薄膜结构，沉积速率高，制备时间短，表面不存在大颗粒，膜层致密，耐磨，摩擦系数低，耐腐蚀、抗潮解。
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公开(公告)号：CN111485214B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202010175916.6
申请日：2020-03-13
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种复合梯度结构改性层的制备方法和产品，具体为离子注入调控沉积的梯度结构固体润滑膜制备方法和应用轴承等产品，用于解决现有固体润滑耐磨性差和无抗接触疲劳性能的问题，该方法采用离子清洗、离子注入和离子束辅助沉积在材料的表面制备新型复合梯度结构固体润滑改性层，改性的表面基本不存在大颗粒，膜层致密，优于现有技术的单纯注入或者Ag固体润滑膜。
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公开(公告)号：CN111485214A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010175916.6
申请日：2020-03-13
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种复合梯度结构改性层的制备方法和产品，具体为离子注入调控沉积的梯度结构固体润滑膜制备方法和应用轴承等产品，用于解决现有固体润滑耐磨性差和无抗接触疲劳性能的问题，该方法采用离子清洗、离子注入和离子束辅助沉积在材料的表面制备新型复合梯度结构固体润滑改性层，改性的表面基本不存在大颗粒，膜层致密，优于现有技术的单纯注入或者Ag固体润滑膜。
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