公开(公告)号：CN210893173U

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201922292246.1

申请日：2019-12-19

Applicant: 北京交通大学

Inventor： 井亚超 ,  范国芳 ,  李源 ,  王目光 ,  张泽平 ,  王荣伟

IPC: G01D5/26 ,  G01B11/02 ,  G01B11/16 ,  G02B6/10 ,  B81B3/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于悬臂梁结构的改进光波导传感器结构，其基于对接波导间的耦合与失准原理，结构包括输入波导、缓冲层、悬臂梁波导和输出波导。其中输入波导进行输入光接收并进行光传输，之后与悬臂梁波导进行耦合，光在悬臂梁波导中进行传输并经过一个间隙由输出波导接收，由输出波导输出最终光功率。结构中在输入波导与悬臂梁波导连接处添加缓冲层，缓冲层沉积于悬臂梁波导上并与输入波导芯层对接，可以有效缓解光在输入波导与悬臂梁波导连接处的耦合突变，减少光在连接处的功率损耗，提高传感器的检测灵敏度，并且具有结构简单，灵敏度高，易集成，稳定性好等优点。