流体设备及其用途
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116057386A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202180050710.3

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明的流体设备具备至少一部分具有在一个面上进行开口的多个同一形状的孔规则地配置而成的孔阵列的基板、以及与上述孔阵列相向配置的盖构件,上述孔阵列与上述盖构件之间的空间形成流体流过的流路,上述孔阵列的任意孔A的开口部的重心Ca与最接近上述孔A的孔B的开口部的重心Cb之间的距离Dab及和上述孔A的开口部面积为同面积的圆的直径Da满足下述式(1),0.8≤Da/Dab<1(1)。

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