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公开(公告)号：CN116406431A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202280007346.7
申请日：2022-01-19
Applicant: 关东化学株式会社
IPC: C23F1/14
Abstract: 使用含碘及碘化物的蚀刻液蚀刻金膜时，为了提升蚀刻液的湿润性、细微加工性及液体寿命等而添加N‑甲基‑2‑吡咯烷酮(NMP)，但近年从是否对人体健康带来不良影响的观点来看，NMP的使用有受管制的课题。本发明提供不含NMP且提升湿润性、细微加工性及液体寿命等的金膜的蚀刻液及蚀刻方法。于金膜的含碘及碘化物的蚀刻液添加特定的有机溶剂，而提供不含NMP且提升湿润性、细微加工性及液体寿命等的金膜的蚀刻液及蚀刻方法。
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