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公开(公告)号：CN106842823B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201710037370.6
申请日：2017-01-19
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了表面等离子体多次干涉曝光的亚波长结构制备方法，该方法用到的光学元器件包括He‑Cd激光器，光电快门，扩束器，1/2波片，分束器，平面反射镜，棱镜，Al膜，光刻样品和光刻样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束经光电快门，扩束器、1/2波片和分束器后，由平面反射镜反射，经棱镜耦合，以表面等离子体的激发角辐照到Al膜上，激发Al膜和光刻胶界面的两束沿相反方向传播的表面等离子体波，两束表面等离子体波的干涉场曝光光刻胶。通过对光刻样品多次旋转曝光，可刻写制备出二维点阵、六边形、同心等间隔圆环等各种亚波长光学结构。本发明具有制备方法简单、所用光学元器件成本低廉的优势，在亚波长光学结构制造领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN108613949A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810852901.1
申请日：2018-07-30
Applicant: 兰州理工大学
Abstract: 本发明公开了基于非对称金属包覆介质波导的角度扫描折射率传感器，包括激光器、平面镜A、棱镜、匹配油、玻璃基底、金属薄膜、待测物、平面镜B、光谱仪和平面镜旋转控制系统。激光器发出的激光，经平面镜A反射，经棱镜折射后辐照非对称金属包覆介质波导，反射光从棱镜中射出后，经平面镜B反射，辐照到光谱仪上。通过反射光谱的测量确定非对称金属包覆介质波导中的相应导模，进而确定待测物的折射率。本发明将待测物作为非对称金属包覆介质波导的导波层，充分利用了波导中的低阶和高阶导模,实现了大范围的折射率传感，具有结构简单和大范围折射率测量的优势，在折射率传感领域有望得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN106483774A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201611137026.6
申请日：2016-12-12
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2053 , G03F7/70025 , G03F7/70408
Abstract: 本发明公开了基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置，该装置包括He-Cd激光器，光电快门，扩束器，半波片，分束器，平面反射镜，棱镜，折射率匹配油，衬底和非对称金属包覆介质波导。He-Cd激光器发射的325nm激光束，通过光电快门后，经扩束器扩束，经半波片改变偏振方向，得到TM或TE偏振光，再由分束器分成两束强度相等的相干光，两束光通过平面反射镜反射后，经棱镜耦合后辐照非对称金属包覆介质波导，激发波导中的高阶导模，高阶导模干涉场曝光正性光刻胶，经后续工艺处理，可制备出多层亚波长结构。本发明可有效调控制备的多层亚波长结构的层数和周期，成本低廉、操作简单、产出高，在微纳光学领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN106444297A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610937238.6
申请日：2016-11-01
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2008 , G03F7/70025 , G03F7/70408 , G03F2007/2067
Abstract: 本发明公开了一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置。该装置包括He-Cd激光器，光电快门，短焦距透镜、长焦距透镜，分束器，平面反射镜A、平面反射镜B，光刻胶样品和样品旋转控制系统。He-Cd激光器发出的激光束经光电快门，短焦距透镜、长焦距透镜，分束器后，成为两束强度相等的激光束，并分别被平面反射镜A、平面反射镜B反射后辐照光刻胶样品进行曝光。通过对光刻胶样品的旋转和多次双光束干涉曝光，以及对激器波长的选择，可刻写制备出一维光栅，二维点阵、六边形、同心等间隔圆环以及纵横周期不同的二维矩形点阵等各种微纳结构。本发明具有结构简单、成本低廉的优势，在微纳结构制造领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN108613949B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201810852901.1
申请日：2018-07-30
Applicant: 兰州理工大学
Abstract: 本发明公开了基于非对称金属包覆介质波导的角度扫描折射率传感器，包括激光器、平面镜A、棱镜、匹配油、玻璃基底、金属薄膜、待测物、平面镜B、光谱仪和平面镜旋转控制系统。激光器发出的激光，经平面镜A反射，经棱镜折射后辐照非对称金属包覆介质波导，反射光从棱镜中射出后，经平面镜B反射，辐照到光谱仪上。通过反射光谱的测量确定非对称金属包覆介质波导中的相应导模，进而确定待测物的折射率。本发明将待测物作为非对称金属包覆介质波导的导波层，充分利用了波导中的低阶和高阶导模,实现了大范围的折射率传感，具有结构简单和大范围折射率测量的优势，在折射率传感领域有望得到广泛应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106444297B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610937238.6
申请日：2016-11-01
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置。该装置包括He‑Cd激光器，光电快门，短焦距透镜、长焦距透镜，分束器，平面反射镜A、平面反射镜B，光刻胶样品和样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束经光电快门，短焦距透镜、长焦距透镜，分束器后，成为两束强度相等的激光束，并分别被平面反射镜A、平面反射镜B反射后辐照光刻胶样品进行曝光。通过对光刻胶样品的旋转和多次双光束干涉曝光，以及对激器波长的选择，可刻写制备出一维光栅，二维点阵、六边形、同心等间隔圆环以及纵横周期不同的二维矩形点阵等各种微纳结构。本发明具有结构简单、成本低廉的优势，在微纳结构制造领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN106483774B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201611137026.6
申请日：2016-12-12
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置，该装置包括He‑Cd激光器，光电快门，扩束器，半波片，分束器，平面反射镜，棱镜，折射率匹配油，衬底和非对称金属包覆介质波导。He‑Cd激光器发射的325nm激光束，通过光电快门后，经扩束器扩束，经半波片改变偏振方向，得到TM或TE偏振光，再由分束器分成两束强度相等的相干光，两束光通过平面反射镜反射后，经棱镜耦合后辐照非对称金属包覆介质波导，激发波导中的高阶导模，高阶导模干涉场曝光正性光刻胶，经后续工艺处理，可制备出多层亚波长结构。本发明可有效调控制备的多层亚波长结构的层数和周期，成本低廉、操作简单、产出高，在微纳光学领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN106842823A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710037370.6
申请日：2017-01-19
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了表面等离子体多次干涉曝光的亚波长结构制备装置，该装置包括He‑Cd激光器，光电快门，扩束器，1/2波片，分束器，平面反射镜，棱镜，Al膜，光刻样品和光刻样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束经光电快门，扩束器、1/2波片和分束器后，由平面反射镜反射，经棱镜耦合，以表面等离子体的激发角辐照到Al膜上，激发Al膜和光刻胶界面的两束沿相反方向传播的表面等离子体波，两束表面等离子体波的干涉场曝光光刻胶。通过对光刻样品多次旋转曝光，可刻写制备出二维点阵、六边形、同心等间隔圆环等各种亚波长光学结构。本发明具有结构简单、成本低廉的优势，在亚波长光学结构制造领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN206400263U
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201720061455.3
申请日：2017-01-19
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了表面等离子体多次干涉曝光的亚波长结构制备装置，该装置包括He‑Cd激光器，光电快门，扩束器，1/2波片，分束器，平面反射镜，棱镜，Al膜，光刻样品和光刻样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束经光电快门，扩束器、1/2波片和分束器后，由平面反射镜反射，经棱镜耦合，以表面等离子体的激发角辐照到Al膜上，激发Al膜和光刻胶界面的两束沿相反方向传播的表面等离子体波，两束表面等离子体波的干涉场曝光光刻胶。通过对光刻样品多次旋转曝光，可刻写制备出二维点阵、六边形、同心等间隔圆环等各种亚波长光学结构。本实用新型具有结构简单、成本低廉的优势，在亚波长光学结构制造领域具有广泛应用。
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公开(公告)号：CN208476778U
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201821214895.9
申请日：2018-07-30
Applicant: 兰州理工大学
Abstract: 本实用新型公开了基于非对称金属包覆介质波导的角度扫描折射率传感器，包括激光器、平面镜A、棱镜、匹配油、玻璃基底、金属薄膜、待测物、平面镜B、光谱仪和平面镜旋转控制系统。激光器发出的激光，经平面镜A反射，经棱镜折射后辐照非对称金属包覆介质波导，反射光从棱镜中射出后，经平面镜B反射，辐照到光谱仪上。通过反射光谱的测量确定非对称金属包覆介质波导中的相应导模，进而确定待测物的折射率。本实用新型将待测物作为非对称金属包覆介质波导的导波层，充分利用了波导中的低阶和高阶导模,实现了大范围的折射率传感，具有结构简单和大范围折射率测量的优势，在折射率传感领域有望得到广泛应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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