公开(公告)号：CN1938808A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200580010783.0

申请日：2005-03-22

Applicant: 先锋株式会社 ,  日本先锋微电子技术公司

Inventor： 酒村一到 ,  麻生三郎 ,  埴原甲二 ,  根岸伸安 ,  中田智成 ,  吉川高正

IPC: H01J1/312 ,  H01J9/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J9/022 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/312 ,  H01J31/127

Abstract: 本发明涉及电子发射装置及其制造方法、和利用电子发射装置的摄像装置或显示装置。该电子发射装置具有下部电极(11)和上部电极(15)，且由从上部电极侧发射电子的多个电子发射元件构成，其中，电子发射元件之间形成有空间，上部电极以在桥部(15a)横跨上述空间的方式延伸，在该制造方法中，当制造上述电子发射装置时，在桥部设置通孔或缺口部(15a)，通过把桥部作为掩模，来蚀刻上部电极下方的层叠体，从而形成上述空间。根据上述电子发射元件，通过桥部能够对相邻的电子发射元件的上部电极之间进行电连接，而不会使上部电极与电子发射元件侧面及基板接触，因此能够缩短电流路径，并且能够减小断线的可能性。