公开(公告)号：CN101583738A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200780049138.9

申请日：2007-12-03

Applicant: 先进能源工业公司

Inventor： F·G·托马塞拉 ,  J·莫克 ,  A·沙巴林 ,  D·M·肖 ,  J·J·冈萨雷斯

IPC: C23C16/453

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H01J37/32495

Abstract: 本发明提供了一种防止在等离子体腔内形成等离子体抑制物质的系统和方法。在一个实施例中，一种装置包括构造为布置于等离子体腔内的阻挡部件。阻挡部件包括限定在此处从流体形成化学还原物质的等离子体形成区域的壁。壁的一部分由对于化学还原物质基本上惰性的物质构成。壁防止化学还原物质与等离子体腔的内表面相互作用从而形成传导性物质。阻挡部件还包括与等离子体形成区域流体相通的开口。流体经由开口引入等离子体形成区域。

公开(公告)号：CN101473131A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200780009231.7

申请日：2007-02-16

Applicant: 先进能源工业公司

Inventor： F·G·托马塞尔 ,  J·莫克 ,  J·J·冈萨雷斯

IPC: F02M9/127

CPC classification number: F22B1/28 ,  F22B3/04 ,  Y10S261/65

Abstract: 本发明涉及一种用于提供蒸汽的系统和方法。在一种变化中，液体被放到密闭容器中，并且所述密闭容器中的压力被降低到大气压力以下。监控所述容器中的压力并且响应于所检测的压力低于要求的水平时来加热液体。当必要时，将蒸汽从液体密闭容器输送到外部系统。

公开(公告)号：CN102187183A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200980140801.5

申请日：2009-10-13

Applicant: 先进能源工业公司

Inventor： A·斯米尔诺夫 ,  M·麦克唐纳 ,  J·莫克

IPC: G01F1/684 ,  G01F1/698

CPC classification number: G01F1/6847 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/696 ,  G01F5/00 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/7737

Abstract: 本发明的一个实施例涉及一种热传感器及其使用方法。一种热传感器适于输出不受外部纵向热梯度和正交热梯度的影响的信号。在一个实施例中，所述质量流量控制器热传感器包括具有上游管部分、管弯曲部分和下游管部分的毛细管，所述下游部分基本上与所述上游部分平行。在一个实施例中，所述上游管部分和所述下游管部分之间的距离不大于所述上游部分和下游部分长度的一半，第一对热感测元件耦合到所述上游管部分并且第二对热感测元件耦合到所述下游管部分。