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公开(公告)号：CN119826141A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202311330542.0
申请日：2023-10-13
Applicant: 先进半导体材料(安徽)有限公司
Abstract: 一种组合光源装置，包括：第一盒体，所述第一盒体内具有第一容腔；设置于所述第一容腔内的若干光源组件，所述光源组件用于产生光线，所述光线具有照射至待检测物体上的光线路径；不同的所述光源组件中产生的所述光线路径不同；各个所述光源组件具有独立的电学控制系统。通过将若干所述光源组件进行集成在所述第一盒体的第一容腔内，能够有效减少多组合光源所占用的空间面积，使得每个光源组件都具有较佳的照射位置，而且能够减少外部光线干扰以及自身光线外漏的问题，进而提升检测效果。集成式的多组合光源可以减少分体式结构中的共同部件，进而有效降低成本。另外，各个所述光源组件具有独立的电学控制系统，可以更加实际需求灵活调整控制。
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