公开(公告)号：CN115729032A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202210790668.5

申请日：2022-07-05

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： 山崎裕之 ,  安藤雅郎 ,  竹内正树 ,  中川胜 ,  伊东骏也

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种压印模具、制造压印模具的方法和制造再生的压印模具的方法。特别涉及这样一种压印模具，其具有合成石英玻璃衬底，所述合成石英玻璃衬底具有在它的表面上形成的转印精细图案；和在至少一部分精细图案上由至少一种不同于衬底的材料形成的涂层。

公开(公告)号：CN113722697A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202110568923.7

申请日：2021-05-25

Applicant: 信越化学工业株式会社 ,  国立大学法人东北大学

Inventor： 安藤雅郎 ,  山崎裕之 ,  竹内正树 ,  中川胜 ,  伊东骏也

IPC: G06F21/36 ,  G06F21/34

Abstract: 本发明提供一种个体认证用结构体、其制造方法以及个体认证方法。具体提供一种个体认证用结构体，其中在合成石英玻璃基板表面部分的至少一部分上形成包括由合成石英玻璃形成的多个纳米柱的柱图案区域。在柱图案区域中，如通过纳米压痕法测量的，纳米柱具有35至100GPa的压痕弹性模量，并且纳米柱塑性变形。