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公开(公告)号:CN116325097A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202180065159.X
申请日:2021-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 本发明提出下述方法及装置,即:针对排列于第一基板上的元件,一边修正其位置偏移一边使用激光向第二基板移载。获取第一基板上的元件的实际位置信息,按照基于可容许的位置偏移量所决定的基准进行分组,以各组为单位,以元件的位置限制于可容许的位置偏移量的范围内的方式修正第一基板的位置,从第一基板的背面照射激光而向第二基板移载元件。
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公开(公告)号:CN116195074A
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN202180065158.5
申请日:2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种向载体基板的移载方法,用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7),决定供体基板与受体基板的移动速度之比,与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移,即激光转印,由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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公开(公告)号:CN216624316U
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202122341476.X
申请日:2021-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/48 , H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本实用新型涉及一种移载系统以及移载机。即:针对排列于第一基板上的元件,一边修正其位置偏移一边使用激光光向第二基板移载。获取第一基板上的元件的实际位置信息,按照基于可容许的位置偏移量所决定的基准进行分组,以各组为单位,以元件的位置限制于可容许的位置偏移量的范围内的方式修正第一基板的位置,从第一基板的背面照射激光而向第二基板移载元件。由此,可针对每个组一边进行位置偏移量的修正一边移载元件,由此具有下述效果,即:可高速制作所移载的所有元件的位置精度在可容许的位置偏移量以内的第二基板。
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公开(公告)号:CN216980602U
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202122368647.8
申请日:2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与装置、基板及显示器的制造系统,用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7),决定供体基板与受体基板的移动速度之比,与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移,即激光转印,由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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公开(公告)号:CN219371054U
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202221585302.6
申请日:2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与基板及显示器的制造系统,用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7),决定供体基板与受体基板的移动速度之比,与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移,即激光转印,由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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