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公开(公告)号：CN104730859B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105425538B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201510570346.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印系统和物品的制造方法。所述压印装置进行使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：获得单元，其被构造为在所述模具与作为所述基板上的压印对象的投射区域彼此面对之前，获得所述基板上的多个投射区域的各自的形状；第一校正单元，其被构造为针对所述基板上的各投射区域，校正所述模具的图案与所述投射区域之间的形状差；测量单元，其被构造为测量所述模具的图案与所述基板上的投射区域之间的位移；第二校正单元，其被构造为校正所述位移；以及控制单元，其被构造为控制所述压印处理。
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公开(公告)号：CN105425538A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510570346.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印系统和物品的制造方法。所述压印装置进行使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：获得单元，其被构造为在所述模具与作为所述基板上的压印对象的投射区域彼此面对之前，获得所述基板上的多个投射区域的各自的形状；第一校正单元，其被构造为针对所述基板上的各投射区域，校正所述模具的图案与所述投射区域之间的形状差；测量单元，其被构造为测量所述模具的图案与所述基板上的投射区域之间的位移；第二校正单元，其被构造为校正所述位移；以及控制单元，其被构造为控制所述压印处理。
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公开(公告)号：CN104730859A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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公开(公告)号：CN100462762C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN03815534.6
申请日：2003-07-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高林幸夫
CPC classification number: G03F7/70825 , G02B7/022 , G02B7/026
Abstract: 一种保持器，用于保持一种具有三个第一槽(116)的光学元件(110)，该保持器包括：第一支承件(120)，其经由第一槽支承光学元件；以及第二支承件(130)，其具有与该第一槽(132)对应的三个第二槽，且经由该第二槽支承第一支承件。
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公开(公告)号：CN1666129A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN03815534.6
申请日：2003-07-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高林幸夫
CPC classification number: G03F7/70825 , G02B7/022 , G02B7/026
Abstract: 一种保持器，用于保持一种具有三个第一槽(116)的光学元件(110)，该保持器包括：第一支承件(120)，其经由第一槽支承光学元件；以及第二支承件(130)，其具有与该第一槽(132)对应的三个第二槽，且经由该第二槽支承第一支承件。
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