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公开(公告)号：CN1935325A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610128194.9
申请日：2006-09-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B01D53/32
Abstract: 一种气体分解设备，包括：至少一组高压电极和接地电极；用于在该高压电极和该接地电极之间施加电压以在它们之间引起等离子体放电的电源；电介质物质以及等离子体处理单元。电介质物质设置在高压电极和接地电极之间，并且可允许要分解的气体穿过。高压电极、接地电极和电介质物质设置在等离子体处理单元中。高压电极和接地电极中至少之一由弹性导电材料构成，并且能和电介质物质的表面轮廓匹配。
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