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公开(公告)号：CN1657220A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510009303.0
申请日：2005-02-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/0617 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2103/50 , B28D5/0011 , H01L21/67092 , H01L21/78
Abstract: 一种利用激光束从待分割物体上分割一部分的激光分割方法，包括通过在所述物体表面上形成线性下凹部分而加工物体的表面加工步骤，所述线性下凹部分在物体表面有效地产生应力集中；在激光束通过两者之间的相对运动扫描物体表面所沿着的直线上的物体深度处，形成内部加工区域的内部加工区域形成步骤，所述激光束靠近深度处会聚，其中这样形成的内部加工区域沿实质上垂直于物体表面的方向延伸；对物体施加外力而在所述下凹部分和所述内部加工区域之间形成裂纹的外力施加步骤。
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公开(公告)号：CN104034508B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410075590.4
申请日：2014-03-04
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01M11/00 , G01N21/958
CPC classification number: G01N21/94 , G01J1/029 , G01J1/0425 , G01J1/0462 , G01M11/0278 , Y10T29/49004
Abstract: 本发明涉及光学检查设备和光学检查系统。一种通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备包括：缝隙板，提供有用于允许一部分扫描光通过的多个缝隙以使得包括扫描有效部；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在利用扫描光在缝隙板上执行扫描的方向上间隔地布置缝隙。
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公开(公告)号：CN104034508A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410075590.4
申请日：2014-03-04
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01M11/00 , G01N21/958
CPC classification number: G01N21/94 , G01J1/029 , G01J1/0425 , G01J1/0462 , G01M11/0278 , Y10T29/49004
Abstract: 本发明涉及光学检查设备和光学检查系统。一种通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备包括：缝隙板，提供有用于允许一部分扫描光通过的多个缝隙以使得包括扫描有效部；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在利用扫描光在缝隙板上执行扫描的方向上间隔地布置缝隙。
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公开(公告)号：CN100351032C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200510009303.0
申请日：2005-02-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/0617 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2103/50 , B28D5/0011 , H01L21/67092 , H01L21/78
Abstract: 一种利用激光束从待分割物体上分割一部分的激光分割方法，包括通过在所述物体表面上形成线性下凹部分而加工物体的表面加工步骤，所述线性下凹部分在物体表面有效地产生应力集中；在激光束通过两者之间的相对运动扫描物体表面所沿着的直线上的物体深度处，形成内部加工区域的内部加工区域形成步骤，所述激光束靠近深度处会聚，其中这样形成的内部加工区域沿实质上垂直于物体表面的方向延伸；对物体施加外力而在所述下凹部分和所述内部加工区域之间形成裂纹的外力施加步骤。
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