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公开(公告)号：CN105728304B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201610088359.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R1/00 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81B2203/04 , B81C1/00626 , H04R2201/003
Abstract: 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。
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公开(公告)号：CN103720487B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310475572.0
申请日：2013-10-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01H9/00 , A61B5/0095 , A61B8/4209 , A61B8/4236 , G01N21/1702 , G01N29/2406 , G01N29/2418 , G01N2021/1706 , G01N2291/0427 , Y10T156/10
Abstract: 本发明涉及探测器、被检体信息获取装置及制造探测器的方法。被配置为接收来自被检体的声波的探测器包括：元件，该元件具有单元结构，其中支撑了具有一对电极之一的振动膜，使得该振动膜可被声波所振动，该对电极被形成为在其间布置有间隙；光反射层，该光反射层相对于元件被设在靠近被检体的位置并且被配置为对光进行反射；以及支撑层，该支撑层被设在元件与光反射层之间并且被配置为支撑光反射层。
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公开(公告)号：CN104427447A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410418443.2
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B5/0095 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H02N1/08
Abstract: 本发明涉及电容变换器及其制造方法。提供一种具有振动膜被支撑以能够振动的结构的电容变换器的制造方法。所述方法包括：在第一电极上形成牺牲层；在牺牲层上形成形成振动膜的至少一部分的层；去除牺牲层，包含形成与牺牲层连通的蚀刻孔；形成用于密封蚀刻孔的密封层；以及，蚀刻密封层的至少一部分。在形成密封层之前，在形成振动膜的至少一部分的层上形成蚀刻停止层。在蚀刻密封层的至少一部分的步骤中，去除密封层，直到到达蚀刻停止层。
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公开(公告)号：CN103037984A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180037100.6
申请日：2011-07-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H01L21/185 , B06B1/0292 , B81B3/0021
Abstract: 本发明涉及机电换能器及其制造方法，其中，在形成分割沟槽或膜期间维持基板刚度以防止基板被损坏。所述机电换能器包括分别具有至少一个单元的多个元件。在第一基板上形成绝缘层，并且，在绝缘层中形成间隙（3）。第二基板与具有间隙的绝缘层接合。然后，分割沟槽在第一基板中形成并至少部分地被绝缘部件填充。然后，与绝缘层接合的第二基板的厚度减小以形成膜（10）。
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公开(公告)号：CN101598852A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910132946.2
申请日：2007-06-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械，能够大范围且高速度地进行振荡部件的转动惯量或者重心位置的调节。其中，该振荡部件绕振荡轴线(17)振荡，并且该振荡部件包含可动元件(11)和质量调节部件(19)，在可动元件(11)和质量调节部件(19)之间限定有空腔(30)，从而，通过对质量调节部件(19)进行激光束照射，该质量调节部件的与空腔相邻近的一部分被部分地去除，该要被去除的部分包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104162505B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201410403551.2
申请日：2010-10-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01N29/2418 , B06B1/0292 , G01N29/2406 , G01N2291/101
Abstract: 本发明公开了一种超声检测设备和超声诊断设备。该超声检测设备包括：电容式机电换能器，包括具有被设置为相对且隔开一空间的第一电极和第二电极的单元；电压源，用于在第一电极与第二电极之间产生电势差；和电路，用于将由于第二电极的振动导致的第一电极与第二电极之间的静电电容的变化引起的电流转换成电压，其中，该电容式机电换能器提供具有相对于某一频率具有第一截止频率的高通特性的输出电流，该电路提供具有相对于所述频率具有第二截止频率的低通特性的输出，以及，该第二截止频率比第一截止频率小。
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公开(公告)号：CN106238301A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610597858.X
申请日：2013-07-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H04R19/013 , B06B1/0292 , G01H11/06 , G01N29/2406 , G01N29/348 , H04R19/005 , H04R23/008 , H04R31/00
Abstract: 公开了电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置。提供了具有宽频带频率特性的电容式换能器。电容式换能器包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙。当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。
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公开(公告)号：CN105895797A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610387408.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/316 , H01L41/332 , H02N1/08
CPC classification number: B06B1/0292 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/332 , H02N1/006 , H02N1/08 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及机电换能器及其制造方法。所述机电换能器包括：第一电极、被设置在第一电极上的硅氧化物膜、以及包含被设置于硅氧化物膜上使得其间具有间隙的硅氮化物膜和被设置于硅氮化物膜上以与第一电极相对的第二电极的振动膜。
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公开(公告)号：CN105728304A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610088359.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R1/00 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81B2203/04 , B81C1/00626 , H04R2201/003
Abstract: 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。
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公开(公告)号：CN104815790A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510166886.1
申请日：2011-06-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/06
CPC classification number: H02N1/08 , B06B1/067 , G01N29/00 , G01N29/2418 , G01N2291/101 , H02N1/00 , H02N11/002
Abstract: 为了提出具有高的S/N比的机电换能器装置，一种机电换能器装置包括：第一基板；二维地排列于第一基板的前表面上并被配置为提供声波与电信号之间的转换的机电换能器元件；作为与第一基板的后表面电连接的第二基板的电气布线基板；被设置在第一基板与第二基板之间的第一声学匹配层；被布置于第二基板的后表面上的声学衰减部件；和被设置在第二基板与声学衰减部件之间的第二声学匹配层。
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