Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN115437224A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210623833.8
申请日：2022-06-02
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高柳雅欣 , 川岛春名 , 矢田裕紀 , 中山周吾
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供处理装置以及物品制造方法。处理装置包括：气液接触结构体，其配置有与第一端及第二端连通的多个气体流路；第一输送路线，其向所述气液接触结构体的所述第一端输送包含疏水性有机物的空气；供给部，其向所述气液接触结构体供给使所述疏水性有机物亲水化的物质及水；和第二输送路线，其输送从所述气液接触结构体的所述第二端出来的空气。
