曝光设置设备及其控制方法以及存储介质

    公开(公告)号:CN112351189B

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202010788248.4

    申请日:2020-08-07

    Abstract: 本发明涉及曝光设置设备及其控制方法以及存储介质。提供了曝光设置设备。显示控制单元进行控制以在显示单元上显示坐标系区域、第一指标、和第二指标。坐标系区域表示包括与第一曝光控制参数相对应的第一轴和与第二曝光控制参数相对应的第二轴的坐标系。第一指标指示与预定曝光相对应的第一曝光控制参数的值和第二曝光控制参数的值的多个组合在坐标系区域中的位置。第二指标指示第一曝光控制参数的设置值和第二曝光控制参数的设置值的组合在坐标系区域中的位置。

    曝光设置设备及其控制方法以及存储介质

    公开(公告)号:CN112351189A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202010788248.4

    申请日:2020-08-07

    Abstract: 本发明涉及曝光设置设备及其控制方法以及存储介质。提供了曝光设置设备。显示控制单元进行控制以在显示单元上显示坐标系区域、第一指标、和第二指标。坐标系区域表示包括与第一曝光控制参数相对应的第一轴和与第二曝光控制参数相对应的第二轴的坐标系。第一指标指示与预定曝光相对应的第一曝光控制参数的值和第二曝光控制参数的值的多个组合在坐标系区域中的位置。第二指标指示第一曝光控制参数的设置值和第二曝光控制参数的设置值的组合在坐标系区域中的位置。

Patent Agency Ranking