使用振荡装置的电势测量装置,成像设备以及电势测量方法

    公开(公告)号:CN100562754C

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200480008573.3

    申请日:2004-03-25

    CPC classification number: G01R29/12

    Abstract: 本发明提供了一种有利于减小尺寸以及获得高灵敏度和高可靠性的电势测量装置。该电势测量装置包括:振荡装置(104),该振荡装置包括扭转弹簧(103、102)和振荡体,该振荡体由扭转弹簧轴向支承;以及信号检测单元(111、112),该信号检测单元位于振荡体的表面上。通过由振荡装置改变在检测电极和电势测量物体表面之间的距离而改变在检测电极和电势测量物体表面之间的电容,从而检测在检测电极上出现的输出信号。

    使用振荡装置的电势测量装置,成像设备以及电势测量方法

    公开(公告)号:CN1768272A

    公开(公告)日:2006-05-03

    申请号:CN200480008573.3

    申请日:2004-03-25

    CPC classification number: G01R29/12

    Abstract: 本发明提供了一种有利于减小尺寸以及获得高灵敏度和高可靠性的电势测量装置。该电势测量装置包括:振荡装置(104),该振荡装置包括扭转弹簧(103、102)和振荡体,该振荡体由扭转弹簧轴向支承;以及信号检测单元(111、112),该信号检测单元位于振荡体的表面上。通过由振荡装置改变在检测电极和电势测量物体表面之间的距离而改变在检测电极和电势测量物体表面之间的电容,从而检测在检测电极上出现的输出信号。

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