公开(公告)号：CN1268984C

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN03160221.5

申请日：2003-09-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 关根康弘 ,  森茂树

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L31/02162 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14685

Abstract: 本发明提供一种固体摄像元件的制造方法，在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的负型彩色抗蚀剂，对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成第1滤色层，在整个面上以覆盖第1滤色层的方式涂敷成为第2滤色层的负型彩色抗蚀剂，对比第1滤色层所包围的区域小的区域照射曝光光束，通过显影形成第2滤色层。此外，本发明提供具有多色的滤色层的固体摄像元件，使该滤色层的边缘呈锥状或反锥状或楔形，以使邻接的滤色层相互间彼此组合在一起。根据本发明能大幅度地减少在利用一般的光刻技术形成滤色层时所产生的光电变换部特性的面内分布或能减少因使用分割曝光法形成滤色层所产生的各曝光区域间的摄像图像的图像不匀。

公开(公告)号：CN1501169A

公开(公告)日：2004-06-02

申请号：CN03160221.5

申请日：2003-09-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 关根康弘 ,  森茂树

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L31/02162 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14685

Abstract: 本发明提供能大幅度地减少在利用一般的光刻技术形成滤色层时所产生的光电变换部特性的面内分布或能减少因使用分割曝光法形成滤色层所产生的各曝光区域间的摄像图像的图像不匀的固体摄像元件的制造方法和固体摄像元件。在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的负型彩色抗蚀剂，对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成第1滤色层，在整个面上以覆盖第1滤色层的方式涂敷成为第2滤色层的负型彩色抗蚀剂，对比第1滤色层所包围的区域小的区域照射曝光光束，通过显影形成第2滤色层。此外，本发明提供具有多色的滤色层的固体摄像元件，使该滤色层的边缘呈锥状或反锥状或楔形，以使邻接的滤色层相互间彼此组合在一起。