公开(公告)号：CN1070434A

公开(公告)日：1993-03-31

申请号：CN92110361.1

申请日：1992-09-08

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川菜 ,  龟山诚 ,  寺田顺司 ,  铃木博幸

IPC: C23C14/24

Abstract: 一种真空蒸发设备，包括一真空容器，一蒸发源和一夹持装置。蒸发源位于真空容器内。一基片由位于蒸发源上方的夹持装置夹持。一防沉积板设置于设备内。真空容器由防沉积板划分成一包括蒸发源的部分和一包括夹持装置的部分。防沉积板带有位于蒸发源上方的孔。孔这样成型，即当从蒸发源看夹持装置时孔与夹持装置重叠。

公开(公告)号：CN1064720C

公开(公告)日：2001-04-18

申请号：CN92110361.1

申请日：1992-09-08

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 早川菜 ,  龟山诚 ,  寺田顺司 ,  铃木博幸

IPC: C23C14/24

Abstract: 一种真空蒸发设备，包括一真空容器，一蒸发源和一夹持装置。蒸发源位于真空容器内。一基片由位于蒸发源上方的夹持装置夹持。一防沉积板设置于设备内。真空容器由防沉积板划分成一包括蒸发源的部分和一包括夹持装置的部分。防沉积板带有位于蒸发源上方的孔。孔这样成形，即当从蒸发源看夹持装置时孔与夹持装置重叠。