公开(公告)号：CN104134605A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201410169262.0

申请日：2014-04-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村木真人 ,  平田吉洋

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/3177 ,  H01J37/3026 ,  H01J2237/31766

Abstract: 本发明提供一种绘制装置和物品的制造方法，所述绘制装置用于利用带电粒子束在基板上执行绘制，包括：台架，被配置为保持所述基板并且被移动；带电粒子光学系统，被配置为照射沿着第一轴排列的多个带电粒子束；以及控制器，被配置为控制绘制，以便利用所述多个带电粒子束对基板上的目标部分执行多次照射，其中，所述控制器被配置为控制绘制，使得相对于基板上沿着所述第一轴形成的多个区域所述台架沿着所述第一轴在一个方向上移动，并且相对于所述多个区域中的每一个上的绘制执行对于带电粒子束沿着所述第一轴的移位的带电粒子束的偏转。

公开(公告)号：CN114207736A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080054715.9

申请日：2020-08-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 福岛聪 ,  平田吉洋 ,  富田律也

IPC: G16H50/30 ,  G16H50/20 ,  G16H30/40 ,  G06T7/00 ,  G06T7/10

Abstract: 信息处理装置包括：评估单元，用于使用已学习从眼底图像获得的特征与根据特征评估的疾病发生风险之间的关系的已学习模型来评估受检者的疾病发生风险；和校正单元，用于基于受检者的生物信息校正评估的疾病发生风险。

公开(公告)号：CN104134605B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201410169262.0

申请日：2014-04-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村木真人 ,  平田吉洋

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/3177 ,  H01J37/3026 ,  H01J2237/31766

Abstract: 本发明提供一种绘制装置和物品的制造方法，所述绘制装置用于利用带电粒子束在基板上执行绘制，包括：台架，被配置为保持所述基板并且被移动；带电粒子光学系统，被配置为照射沿着第一轴排列的多个带电粒子束；以及控制器，被配置为控制绘制，以便利用所述多个带电粒子束对基板上的目标部分执行多次照射，其中，所述控制器被配置为控制绘制，使得相对于基板上沿着所述第一轴形成的多个区域所述台架沿着所述第一轴在一个方向上移动，并且相对于所述多个区域中的每一个上的绘制执行对于带电粒子束沿着所述第一轴的移位的带电粒子束的偏转。

公开(公告)号：CN104134603A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201410169271.X

申请日：2014-04-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村木真人 ,  平田吉洋

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/305 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/31761

Abstract: 本发明内容涉及描绘装置和物品的制造方法。本发明提供了一种用于用带电粒子束在基板上执行描绘的描绘装置，该装置包括控制器，控制器被配置为执行对通过台架的移动和多个带电粒子光学系统中的每一个的消隐功能而执行的描绘的控制，其中，控制器被配置为关于所述多个带电粒子光学系统中的、来自其的多个带电粒子束到达在基板上形成并且彼此相邻的第一区域和第二区域的第一带电粒子光学系统执行控制，以使得在台架在第二方向上移动的情况下用该多个带电粒子束中的第一部分带电粒子束仅在第一区域和第二区域中的一个中执行描绘。